Отложенные
водоподготовке в полупроводниковой промышленности. Заявленные ключевые темы мероприятия - стандарты в области водоподготовки, отраслевые и технологические тенденции. Спонсором мероприятия выступает журнал Ultrapure Water.
Ноябрьская конференция Ultrapure Water Micro будет состоять из четырёх сессий, каждая из которых посвящена своей стратегической проблеме. На обсуждение будут вынесены стандарты водоподготовки в полупроводниковой промышленности, новинки и усовершенствования в водных системах, системах контроля и мониторинга, регенерации и вторичного использования сточных вод. В частности, на конференции будут обсуждаться руководства по водоподготовке от ITRS (Международной технологической карты развития полупроводниковой промышленности), контроль запылённости, системы распределения воды для полупроводников, высокоэффективные технологии обратного осмоса, тренды в микроэлектронной промышленности и маркетинговые тенденции, измерение общего содержания органического углерода, утилизация стоков от процесса химико-механического выравнивания меди. Место проведения мероприятия - отель Хилтон в Меса (Феникс, США).
Помимо углублённого обсуждения чисто технических вопросов, на конференции будут технические презентации (к слову, в 2009 году в выставке приняли участи 16 компании), а также круглый стол в рамках проекта ITRS (Международной технологической карты развития полупроводниковой промышленности): один из его рабочих комитетов занимается разработкой стандартов подготовки воды для полупроводников.
В число докладчиков входят доктор философии Слава Либман из американского отделения M+W Group, Джеф Чапмэн из IBM, Джеймс Пардини из MEL Chemicals, Азита Яздани из Exergy Technologies, Михаил Пишке из Alfa Laval Inc., Билл МакКлейн из GE Water и Барри Готлински из Pall Corp.
